데일리연합 (아이타임즈M ) 임재현 기자 | 충청북도는 29일 도청에서 충청북도, 청주시, 외국인투자기업인 JSR마이크로코리아㈜와 오창 외국인투자지역 내 반도체용 포토레지스트 생산공장 신설 투자협약을 체결했다.

 

이번 투자협약은 오창 외국인투자지역 내 2,000㎡(605평) 부지에 2024년부터 2026년까지 3년간 반도체용 EUV(극자외선) 포토레지스트 생산공장 신설 투자와 충북도 및 청주시의 행정적 지원에 관한 내용을 담고 있으며, 특히 올해 4월 충청북도 투자유치대표단이 일본 JSR 본사를 방문, 단장인 김명규 경제부지사가 Eric CEO 겸 사장에게 직접 투자를 요청한 결과이다.

 

JSR마이크로코리아㈜가 투자하는 EUV용 포토레지스트는 반도체 웨이퍼 표면에 회로 패턴을 형성하도록 도포하는 화학물질로, 반도체 핵심소재 품목 중 하나이다.

 

특히, EUV용 무기포토레지스트인 MOR(Metal oxide resist)는 기존 유기물 대비 빛 흡수율이 높은 초미세 반도체 공정의 차세대 핵심 기술로, 충북의 반도체 산업 공급망 안정화에 기여할 것으로 평가받는다.

 

JSR마이크로코리아㈜는 세계적인 반도체 소재 제조사인 일본 JSR주식회사의 기술과 자본이 투입돼 설립된 100% 외국인 투자기업이다.

 

JSR주식회사는 1957년에 설립된 회사로 반도체 및 디스플레이 재료, 합성수지, 의약소재 등을 개발·제조하고 있으며, 특히 반도체 소재로서 ArF 포토레지스트, 다층재료, 도금용 후막 포토레지스트, 디스플레이 재료로서 배향막, 절연막 분야에서는 세계 시장 최고 수준의 점유율을 기록하고 있다.

 

JSR마이크로코리아㈜는 2003년 충청북도 청주시 오창에 설립되어 평판 디스플레이용 소재 생산에서 축적된 기술력을 바탕으로 성장해 왔다.

 

이번 추가 투자를 통해 주요 고객사인 SK하이닉스와 삼성전자 등에 고품질, 고성능 반도체용 포토레지스트를 안정적으로 공급할 계획이다.

 

김영환 충북도지사는 "우수한 반도체 기업들이 밀집한 충북은 우리나라 반도체 산업의 중심지로, 이번 투자협약이 반도체 분야에서 충북의 위상을 확고히 하고 JSR마이크로코리아㈜가 세계적인 반도체용 포토레지스트 제조기업으로 성장하는 발판이 되길 기대한다”라고 말했다.